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鋁隨著純度提高，變得更軟，并且易于發生機械變形和劃傷。因此，磨削可能會加劇高純度鋁的變形。所以相對來說，純鋁的金相試樣制備比鋁合金更難。

純鋁試樣，腐蝕劑為Barker試劑，30V，2分鐘。偏光鏡觀察，加靈敏色片，放大倍數50X，黑點為非金屬夾雜。

建議用較細的砂紙進行平面研磨，以避免產生過大的機械變形。必須考慮硬度、尺寸和樣品數目，但是對于粗磨，即使尺寸較大的純鋁樣品，P600號砂紙也已足夠，較大的鋁合金鑄件可以用P320號砂紙進行研磨。另外很重要的是，研磨時壓力要小，以避免產生深層變形，降低砂紙和樣品表面之間的摩擦力，對于純鋁尤為重要。

隨后必須用金剛石拋光液去除磨削產生的所有深劃痕。如果不清楚樣品的水溶性，那么推薦用無水金剛石懸浮液和潤滑劑進行拋光。如果在拋光過程中，金剛石顆粒壓入到試樣表面中，那么后面的二氧化硅懸浮液精拋光的時間可適當延長。需要指出的是：嵌入的顆粒可能會導致組織分析的錯誤。

用氧化硅懸浮液拋光1分鐘后，用顯微鏡檢查結果。如有必要，應繼續拋光1分鐘，然后再次檢查結果。推薦重復執行此拋光/檢查循環，直到達到要求的品質結果為止。在拋光結束之前約30秒鐘，將水倒在拋光布上，以沖洗樣品和拋光布。然后，用干凈的自來水再次洗滌樣品，然后干燥。